“재직자 등 반도체 전문인력 양성 강화” 충남 천안의 한국기술교육대(총장 유길상)는 반도체 제조공정·장비 교육과 실습 공간 ‘클린룸’(clean room)에 6종의 장비를 추가 구축했다고 25일 밝혔다. 재직자·직업훈련 교·강사 등을 대상으로 보다 체계적 반도체 전문인력 양성을 위해서다.
클린룸은 반도체소자나 집적회로 등 정밀 전자부품을 제조하기 위해 미세먼지를 제거한 청정실이다.
추가 장비는 반도체소자 제조를 위한 FAB 공정 핵심 장비인 △융복합장치(PECVD/PEALD) △전기로(Furnace) △복합 스퍼터(Sputter) △노광기(Aligner System) △습식세정장비(Wet-Station) △공기조화기(AHU System) 등이다.
앞서 한기대는 2010년 신성장 동력산업 인력양성을 위해 클린룸을 건립해 양산용 PECVD, PVD 등 50여종 100억원 상당의 장비가 가동돼 반도체 제조 공정실습 전문시설로 주목을 받았다.
250평 면적의 한기대 클린룸은 CLASS 1000 등급(0.5마이크로 이상 크기의 입자수가 1입방 피트 중 1000개 이하인 청정 공간)이며, 반도체제조공정실, 솔라셀제조공정실, Utility실, 공조실 등으로 구성돼 있다.
천안 이종익 기자