단국대학교(총장 안순철)는 K-반도체를 이끌 전문인력 양성을 위한 ‘DKU 클린룸 센터’를 개소했다고 8일 밝혔다.

‘DKU 클린룸 센터’는 죽전캠퍼스 대학원동 6층에 연 면적 926㎡로 조성됐다.

센터에는 클린룸, 분석계측실, 공정실습실1·2, 가스저장실, 장비분석실, 강의실 등을 구축해 설계부터 소자·공정, 테스트·후공정까지 한 번에 반도체 이론·실습 교육이 가능하다.

이곳에는 △‘프로브스테이션 및 반도체 칩 특성 평가 장비’ △시료 표면 특성을 나노 단위로 분석하는 ‘고해상도 주사형 원자력 현미경’ △고에너지 자외선 I-line을 사용해 Mask에 새겨진 회로 패턴을 웨이퍼 표면에 형성하는 ‘6인치 웨이퍼 UV노광장비’ 등을 갖췄다.



단국대는 삼성전자, SK하이닉스 등 산업체 수요를 반영한 전공자·비전공자·기업 재직자를 위한 산학협력 현장 실무형 교육과정을 운영한다.

기업들은 센터의 기술·장비 솔루션을 통해 설계부터 후공정에 이르기까지 최적화된 기술지원을 제공받고 공동연구에도 참여한다.

안순철 총장은 “국내 대학 최고 수준의 반도체 클린룸을 통해 단국대는 현장 맞춤형 반도체 인재 양성에 박차를 가해 지·산·학·연을 잇는 차세대 반도체 R&D 허브로 발전시킬 것”이라고 강조했다.

반도체 산업 분야 핵심 인재 양성을 위해 ‘차세대반도체사업단’을 창단한 단국대는 융합반도체공학과(학부), 파운드리공학과(대학원)를 신설해 반도체 소자·재료·공정·회로설계·신뢰성평가 등 특화된 교육과정을 운영 중이다.

천안 이종익 기자