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용인 반도체 클러스터 내 ‘성능평가시설’ 건립사업 예타 통과

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SK하이닉스 조성 중인 첫 번째 팹 내에 연면적 3300㎡ 규모
계측장비 약 40대 갖춰 국내 소부장 기업 기술 개발· 실증 지원
사업비 1조원 규모 …산업부와 경기도, 용인시, SK하이닉스 등 분담


SK하이닉스가 용인시 원삼면에 조성중인 반도체 클러스터 조감도. SK하이닉스 제공


경기 용인시 원삼면 반도체 클러스터 내에 첨단 반도체 성능평가시설이 들어선다.

경기도는 ‘첨단 반도체 양산연계형 미니팹(성능평가시설) 기반 구축 사업’이 과학기술정보통신부 국가연구개발사업평가 총괄위원회에서 최종 예비타당성조사를 통과했다고 28일 밝혔다.

이 사업은 용인 반도체 클러스터에 SK하이닉스가 조성 중인 첫 번째 팹(Fab) 내에 연면적 3300㎡ 규모의 성능평가시설을 짓는 사업이다.

내부에는 12인치 웨이퍼(회로판) 기반 반도체 공정·계측장비 약 40대를 갖춰 국내 소부장 기업에 기술 개발과 실증,평가를 지원하게 된다.

총사업비는 1조원 규모로 산업통상자원부와 경기도, 용인시, SK하이닉스 등이 분담한다.

도는 성능평가시설이 첨단 반도체 산업의 글로벌 기술 경쟁력을 한층 끌어올려 반도체 산업 생태계를 강화하는 역할을 할 것으로 전망했다.

이성호 도 미래성장산업국장은 “첨단반도체 미니팹은 미래 반도체 산업을 선도할 핵심 시설이 될 것”이라며 “정부, 지자체, 기업이 긴밀히 협력해 사업이 적기에 추진될 수 있도록 최선을 다하겠다”고 말했다.

이상일 용인시장은 “미니팹 건설이 예비타당성조사로 확정됨에 따라 용인은 반도체 기술을 선도하는 세계 최고의 반도체 중심도시로 위상을 한층 더 높이게 됐다”며 “미내팹이 가동되면 반도체 소재·부품·장비 기업들이 개발한 기술과 제품을 반도체를 양산하는 실제 팹과 똑같은 환경에서 테스트하고 검증할 수 있게 되는 만큼 소·부·장 기업 발전과 반도체 생태계 강화에 큰 도움을 줄 것”이라고 말했다.

신동원 기자
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