경기 안산시가 22일 상록구 해안로에 위치한 인테그리스코리아 테크놀로지센터(KTC)에 투자유치 보조금 5억원을 전달하고, 인테그리스코리아는 안산시 제1호 투자유치기업이다.

이번 보조금 지급은 ‘안산시 투자유치 촉진 조례’ 개정 후 첫 사례다. 시는 기업 투자유치를 활성화하기 위해 지난해 조례를 개정해 투자유치 보조금 지원 한도를 기존 2억원에서 5억원으로 늘렸다.

미국 나스닥 상장기업인 인테그리스(Entegris)는 반도체 핵심 소재와 공정 관련 기술 및 제품을 공급하는 기업으로, 연간 매출액은 약 40억 달러에 이른다.

인테그리스코리아는 한양대학교 에리카 캠퍼스혁신파크에 약 500억원을 투자해 지상 6층 규모의 반도체 종합연구소를 건립하고, 지난해 7월 운영을 시작했다.

현재 연구인력 약 50명이 근무하고 있으며, 앞으로 연구 분야와 인력을 단계적으로 확대할 계획이다. 주요 연구 분야는 화학적 기계 연마용 연마액, 증착용 전구체, 습식 식각용 화학물질을 비롯해 고체 전구체 공급 시스템, 습식 화학물질 감시 기술, 미세입자 분석 등이다.

이민근 시장은 “제1호 투자유치기업의 성공이 또 다른 기업의 투자로 이어질 수 있도록 반도체와 인공지능(AI), 로봇 등 첨단산업 분야의 우수기업 유치와 기업 지원에 최선을 다하겠다”고 말했다.

안승순 기자